Фоторезист

Большая Советская Энциклопедия. Статьи для написания рефератов, курсовых работ, научные статьи, биографии, очерки, аннотации, описания.


А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я 1 2 3 4 8 A L M P S T X
ФА ФБ ФЕ ФЁ ФЗ ФИ ФЛ ФО ФР ФТ ФУ ФЫ ФЬ ФЭ ФЮ
ФОБ
ФОВ
ФОГ
ФОД
ФОЙ
ФОК
ФОЛ
ФОМ
ФОН
ФОР
ФОС
ФОТ
ФОФ
ФОХ
ФОШ

Фоторезист (от фото... и англ. resist – сопротивляться, препятствовать), полимерный светочувствительный слой, нанесённый на поверхность полупроводниковой пластины с окисной плёнкой. Фоторезист используются в полупроводниковой электронике и микроэлектронике (см., например, Планарная технология) для получения на пластине «окон» заданной конфигурации, открывающих доступ к ней травителя. В результате экспонирования Фоторезист через наложенный на него стеклянный шаблон нужного рисунка ультрафиолетовым излучением (иногда электронным лучом) свойства его меняются: либо растворимость Фоторезист резко уменьшается (негативный Фоторезист), либо он разрушается и становится легко удалимым (позитивный Фоторезист). Последующая обработка растворителем образует в Фоторезист «окна» на необлучённых участках негативного Фоторезист или облученных участках позитивного Фоторезист Типичные Фоторезист: негативные – слои поливинилового спирта с солями хромовых кислот или эфирами коричной кислоты, слои циклизованного каучука с добавками, вызывающими «сшивание» макромолекул под действием света; позитивные – фенолоили крезолоформальдегидная смола с о-нафтохинондиазидом. См. также Фотолитография.

 

  Лит.: Фотолитография и оптика, М. – Берлин, 1974; Мазель Е. З., Пресс Фоторезист П., Планарная технология кремниевых приборов, М., 1974.

 

Так же Вы можете узнать о...


Жезл геодезический, металлический стержень длиной 1—3 м, который материализует принятую основную единицу меры длины или её кратные.
Кёпрюлю Мехмет Фуат Кёпрюлю (Koprulu) Мехмет Фуат (4.12.1890, Стамбул, — 28.
Лето (мифологич.) Лето, Латона, в древнегреческой мифологии титанида, одна из супруг Зевса.
Муканов Сабит Муканович [13(26).4. 1900, Таузарская волость Акмолинской губернии, ныне Джамбулский район Северо-Казахстанской области, — 18.
Первый съезд РСДРП, состоялся нелегально в Минске 1—3 (13—15) марта 1898.
Риман Карл Вильгельм Юлиус Хуго Риман (Riemann) Карл Вильгельм Юлиус Хуго (18.
Стартовый ракетный двигатель, вспомогательный ракетный двигатель, устанавливаемый на летательном аппарате с целью ускорения его старта.
Фагоцитоз, процесс активного захватывания и поглощения живых и неживых частиц одноклеточными организмами или особыми клетками (фагоцитами) многоклеточных животных организмов.
Шлиман Генрих Шлиман (Schliemann) Генрих (6.1. 1822, Нёйбуков, — 26.
Арайс-Берце Август Юрьевич [20.3(1.4).1890 — 11.
Вараны (Varanidae), семейство пресмыкающихся подотряда ящериц.
Гоц Абрам Рафаилович и Михаил Рафаилович Гоц, видные деятели партии эсеров, члены её ЦК, братья Абрам Рафаилович Г.
Золотов Евгений Васильевич (р. 29.4. 1922, Тула), советский математик, член-корреспондент АН СССР (1970).
Колючелистник, колючелист (Acanthophyllum), род растений семейства гвоздичных.
Лян Ци-чао (23.2.1873, уезд Синьхой, провинция Гуандун, — 19.