Фоторезист

Большая Советская Энциклопедия. Статьи для написания рефератов, курсовых работ, научные статьи, биографии, очерки, аннотации, описания.


А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я 1 2 3 4 8 A L M P S T X
ФА ФБ ФЕ ФЁ ФЗ ФИ ФЛ ФО ФР ФТ ФУ ФЫ ФЬ ФЭ ФЮ
ФОБ
ФОВ
ФОГ
ФОД
ФОЙ
ФОК
ФОЛ
ФОМ
ФОН
ФОР
ФОС
ФОТ
ФОФ
ФОХ
ФОШ

Фоторезист (от фото... и англ. resist – сопротивляться, препятствовать), полимерный светочувствительный слой, нанесённый на поверхность полупроводниковой пластины с окисной плёнкой. Фоторезист используются в полупроводниковой электронике и микроэлектронике (см., например, Планарная технология) для получения на пластине «окон» заданной конфигурации, открывающих доступ к ней травителя. В результате экспонирования Фоторезист через наложенный на него стеклянный шаблон нужного рисунка ультрафиолетовым излучением (иногда электронным лучом) свойства его меняются: либо растворимость Фоторезист резко уменьшается (негативный Фоторезист), либо он разрушается и становится легко удалимым (позитивный Фоторезист). Последующая обработка растворителем образует в Фоторезист «окна» на необлучённых участках негативного Фоторезист или облученных участках позитивного Фоторезист Типичные Фоторезист: негативные – слои поливинилового спирта с солями хромовых кислот или эфирами коричной кислоты, слои циклизованного каучука с добавками, вызывающими «сшивание» макромолекул под действием света; позитивные – фенолоили крезолоформальдегидная смола с о-нафтохинондиазидом. См. также Фотолитография.

 

  Лит.: Фотолитография и оптика, М. – Берлин, 1974; Мазель Е. З., Пресс Фоторезист П., Планарная технология кремниевых приборов, М., 1974.

 

Так же Вы можете узнать о...


Фару (Faro), город и рыболовецкий порт на Ю.
Фока (Phokas) (г. и место рождения неизвестны – умер октябрь 610, Константинополь), византийский император с 602.
Хайдар Амуоглы, Хайдар-хан, Гайдар-хан, Таривердиев [20.
Холлар Вацлав Холлар, Голлар (Hollar) Вацлав (Венцель) (13.
Цианаты, соли и эфиры циановой кислоты. Соли, в отличие от самой кислоты, соединения весьма устойчивые; например, для NaOCN tпл 550 °С; KOCN разлагается, не плавясь, лишь при температуре 700 °С.
Чешуйчатые (Squamata), подкласс (или отряд) пресмыкающихся.
Шелихов Григорий Иванович Шелихов, Шелехов Григорий Иванович [1747, Рыльск, ныне Курской обл.
Щербатов Михаил Михайлович (22.7.1733 — 12.12.
Элсуорт (горы) Элсуорт (Ellsworth Mountains), горы в южной части Земли Элсуорта (Западная Антарктида).
Южный канал (Canal du Midi), судоходный канал на Ю.
Аваз Отар-оглы (15.8.1884, Хива, — 1919, там же), узбекский поэт, просветитель.
Акромеланизм (от греч. ákron — вершина, край, конечность и mélas — чёрный), наследственное своеобразие окраски, при котором, в отличие от альбинизма, организм лишён пигмента меланина не полностью.
Аммосов Максим Кирович [11(23). 10.1897 — 28.
Арабские завоевания, военные предприятия арабов, начатые правительством Медины после подчинения восставших племён Аравийского полуострова (см.
Атомный ракетный двигатель, то же, что ядерный ракетный двигатель.
Бангала, народ, живущий по среднему течению р.
Белостокское воеводство (Wojewodztwo Białostockie), административная единица на северо-востоке Польши.
Бичераховы, братья, одни из руководителей контрреволюции на Кавказе в 1918—19.
Боян (неолитич. культура) Боян (Boian), неолитическая культура, распространённая на современной территории Румынии и Болгарии (4-е тыс.