Фоторезист

Большая Советская Энциклопедия. Статьи для написания рефератов, курсовых работ, научные статьи, биографии, очерки, аннотации, описания.


А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я 1 2 3 4 8 A L M P S T X
ФА ФБ ФЕ ФЁ ФЗ ФИ ФЛ ФО ФР ФТ ФУ ФЫ ФЬ ФЭ ФЮ
ФОБ
ФОВ
ФОГ
ФОД
ФОЙ
ФОК
ФОЛ
ФОМ
ФОН
ФОР
ФОС
ФОТ
ФОФ
ФОХ
ФОШ

Фоторезист (от фото... и англ. resist – сопротивляться, препятствовать), полимерный светочувствительный слой, нанесённый на поверхность полупроводниковой пластины с окисной плёнкой. Фоторезист используются в полупроводниковой электронике и микроэлектронике (см., например, Планарная технология) для получения на пластине «окон» заданной конфигурации, открывающих доступ к ней травителя. В результате экспонирования Фоторезист через наложенный на него стеклянный шаблон нужного рисунка ультрафиолетовым излучением (иногда электронным лучом) свойства его меняются: либо растворимость Фоторезист резко уменьшается (негативный Фоторезист), либо он разрушается и становится легко удалимым (позитивный Фоторезист). Последующая обработка растворителем образует в Фоторезист «окна» на необлучённых участках негативного Фоторезист или облученных участках позитивного Фоторезист Типичные Фоторезист: негативные – слои поливинилового спирта с солями хромовых кислот или эфирами коричной кислоты, слои циклизованного каучука с добавками, вызывающими «сшивание» макромолекул под действием света; позитивные – фенолоили крезолоформальдегидная смола с о-нафтохинондиазидом. См. также Фотолитография.

 

  Лит.: Фотолитография и оптика, М. – Берлин, 1974; Мазель Е. З., Пресс Фоторезист П., Планарная технология кремниевых приборов, М., 1974.

 

Так же Вы можете узнать о...


Филарет (патриарх) Филарет (в миру – Федор Никитич Романов) [р.
Велика-Кикинда, город в Югославии, в северо-восточной части Воеводины; см.
Коми филиал Академии наук СССР, объединение научных учреждений АН СССР на северо-востоке Европейской части страны.
Плещеницы, посёлок городского типа в Логойском районе Минской области БССР.
Фламинго (Phoenicopteri), отряд птиц. Часто включается как подотряд в отряд голенастых.
Верёвочный многоугольник, графический метод отыскания опорных реакций и равнодействующих системы сил, построения эпюр изгибающих моментов, определения рациональных очертаний арочных и висячих систем и решения др.
Комсомольский (пос. гор. типа в Коми АССР) Комсомольский, посёлок городского типа в Коми АССР.
Подавление помех радиоприёму, максимально возможное уменьшение искажающего действия на сигнал помех радиоприёму.
Форбек Рагнар Форбек (Forbeck) Рагнар (23.7.1894, Осло, – 28.
Ветеринарной санитарии институт Всесоюзный научно-исследовательский (ВНИИВС).
Константиновский, посёлок городского типа в Тутаевском районе Ярославской области РСФСР.
Покорный Юлиус Покорный (Pokorny) Юлиус (12.6.1887, Прага, — 8.
Фотоэффект внутренний, перераспределение электронов по энергетическим состояниям в конденсированной среде, происходящее при поглощении электромагнитного излучения.
Виктория-де-лас-Тунас (Victoria de las Tunas), город на В.
Координаты (математ.) Координаты [от лат. co (cum) — совместно и ordinatus — упорядоченный, определённый], числа, заданием которых определяется положение точки на плоскости, на любой поверхности или в пространстве.
Поллак Михай Поллак (Pollack) Михай (30.8.1773, Вена, — 5.
Фромм Эрих Фромм (Fromm) Эрих (р. 23.3.1900, Франкфурт-на-Майне), немецко-американский психолог и социолог, представитель неофрейдизма.