Фоторезист

Большая Советская Энциклопедия. Статьи для написания рефератов, курсовых работ, научные статьи, биографии, очерки, аннотации, описания.


А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я 1 2 3 4 8 A L M P S T X
ФА ФБ ФЕ ФЁ ФЗ ФИ ФЛ ФО ФР ФТ ФУ ФЫ ФЬ ФЭ ФЮ
ФОБ
ФОВ
ФОГ
ФОД
ФОЙ
ФОК
ФОЛ
ФОМ
ФОН
ФОР
ФОС
ФОТ
ФОФ
ФОХ
ФОШ

Фоторезист (от фото... и англ. resist – сопротивляться, препятствовать), полимерный светочувствительный слой, нанесённый на поверхность полупроводниковой пластины с окисной плёнкой. Фоторезист используются в полупроводниковой электронике и микроэлектронике (см., например, Планарная технология) для получения на пластине «окон» заданной конфигурации, открывающих доступ к ней травителя. В результате экспонирования Фоторезист через наложенный на него стеклянный шаблон нужного рисунка ультрафиолетовым излучением (иногда электронным лучом) свойства его меняются: либо растворимость Фоторезист резко уменьшается (негативный Фоторезист), либо он разрушается и становится легко удалимым (позитивный Фоторезист). Последующая обработка растворителем образует в Фоторезист «окна» на необлучённых участках негативного Фоторезист или облученных участках позитивного Фоторезист Типичные Фоторезист: негативные – слои поливинилового спирта с солями хромовых кислот или эфирами коричной кислоты, слои циклизованного каучука с добавками, вызывающими «сшивание» макромолекул под действием света; позитивные – фенолоили крезолоформальдегидная смола с о-нафтохинондиазидом. См. также Фотолитография.

 

  Лит.: Фотолитография и оптика, М. – Берлин, 1974; Мазель Е. З., Пресс Фоторезист П., Планарная технология кремниевых приборов, М., 1974.

 

Так же Вы можете узнать о...


Макаров Олег Григорьевич (родился 6.1.1933, поселок Удомля Калининской области), лётчик-космонавт СССР, Герой Советского Союза (2.
Шиллуки, народность, живущая на Ю. Судана; см.
Лансье, кадриль-лансье (франц. lancier, буквально — улан), английский бальный танец.
Хохлатка (Corydalis), род растений семейства дымянковых.
Кордильера-Уайуаш (Cordillera Huayhuash), горный хребет в Андах, часть Западных Кордильер Перу.
Фенилаланин ,b-фенил -a-аминопропионовая кислота, C3H5CH2CH (NH2) COOH; ароматическая аминокислота.
Клебер Жан Батист Клебер (Kleber) Жан Батист (9.3.1753, Страсбург, — 14.
Университетское образование, подготовка в университетах специалистов для различных отраслей народного хозяйства и культуры (в т.
Квантовые переходы, скачкообразные переходы квантовой системы (атома, молекулы, атомного ядра, твёрдого тела) из одного состояния в другое.
Тужа, посёлок городского типа, центр Тужинского района Кировской области РСФСР.
Капуана Луиджи Капуана (Capuana) Луиджи (28.5.1839, Минео, провинция Катания, Сицилия, — 29.
Тольнаи Клари Тольнаи (Tolnay) Клари (р. 27.7.1914, Будапешт), венгерская актриса, народная артистка ВНР (1954).
Кавальканти Гвидо Кавальканти (Cavalcanti) Гвидо (1255 или 1259, Флоренция, — 1300, там же), итальянский поэт.
Темза (Thames), река на Ю. Великобритании. Длина 334 км, площадь бассейна 15,3 тысяч км2.
Инкогнито
Сьерра-Невада-де-Санта-Марта (Sierra Nevada de Santa Marta), изолированный горный массив на С.