Фоторезист (от фото... и англ. resist – сопротивляться, препятствовать), полимерный светочувствительный слой, нанесённый на поверхность полупроводниковой пластины с окисной плёнкой. Фоторезист используются в полупроводниковой электронике и микроэлектронике (см., например, Планарная технология) для получения на пластине «окон» заданной конфигурации, открывающих доступ к ней травителя. В результате экспонирования Фоторезист через наложенный на него стеклянный шаблон нужного рисунка ультрафиолетовым излучением (иногда электронным лучом) свойства его меняются: либо растворимость Фоторезист резко уменьшается (негативный Фоторезист), либо он разрушается и становится легко удалимым (позитивный Фоторезист). Последующая обработка растворителем образует в Фоторезист «окна» на необлучённых участках негативного Фоторезист или облученных участках позитивного Фоторезист Типичные Фоторезист: негативные – слои поливинилового спирта с солями хромовых кислот или эфирами коричной кислоты, слои циклизованного каучука с добавками, вызывающими «сшивание» макромолекул под действием света; позитивные – фенолоили крезолоформальдегидная смола с о-нафтохинондиазидом. См. также Фотолитография.
Лит.: Фотолитография и оптика, М. – Берлин, 1974; Мазель Е. З., Пресс Фоторезист П., Планарная технология кремниевых приборов, М., 1974.
Так же Вы можете узнать о...
Высокооктановые топлива, автомобильные и авиационные бензины, применяемые в карбюраторных двигателях внутреннего сгорания, работающих при высокой степени сжатия и с наддувом. Дифференциальное исчисление, раздел математики, в котором изучаются производные и дифференциалы функций и их применения к исследованию функций. Канцлер (нем. Kanzler), 1) в феодальных государствах средневековой Европы — высшее должностное лицо, возглавлявшее королевскую канцелярию и архив, хранившее государственную печать и т. Кутис (от лат. cutis — кожа), соединительнотканная часть кожи; то же, что дерма. Митла (Mitla, сапотекское название — Йоопаа), один из древнейших культурно-политических центров на Ю. Паган (первое гос-во бирманцев) Паган, первое государство бирманцев. Существовало в 11—13 вв. Ракхайн, одно из название Араканских гор на З. Сонгма, река в Лаосе и Вьетнаме; см. Ма. Уинсор (город в Канаде) Уинсор (Windsor), город на В. Канады, в провинции Онтарио, на р. Шаговая автоматическая телефонная станция ,телефонная станция, в которой коммутация абонентских и соединительных линий осуществляется шаговыми искателями электромеханическими малой ёмкости с одним движением щёток. Англо-германская декларация 1938, декларация о ненападении, подписанная британским премьер-министром Н. Бухнер Эдуард Бухнер (Buchner) Эдуард (20.5.1860, Мюнхен, — 13. Гольяны (Phoxinus), род пресноводных рыбок семейства карповых.