Фоторезист

Большая Советская Энциклопедия. Статьи для написания рефератов, курсовых работ, научные статьи, биографии, очерки, аннотации, описания.


А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я 1 2 3 4 8 A L M P S T X
ФА ФБ ФЕ ФЁ ФЗ ФИ ФЛ ФО ФР ФТ ФУ ФЫ ФЬ ФЭ ФЮ
ФОБ
ФОВ
ФОГ
ФОД
ФОЙ
ФОК
ФОЛ
ФОМ
ФОН
ФОР
ФОС
ФОТ
ФОФ
ФОХ
ФОШ

Фоторезист (от фото... и англ. resist – сопротивляться, препятствовать), полимерный светочувствительный слой, нанесённый на поверхность полупроводниковой пластины с окисной плёнкой. Фоторезист используются в полупроводниковой электронике и микроэлектронике (см., например, Планарная технология) для получения на пластине «окон» заданной конфигурации, открывающих доступ к ней травителя. В результате экспонирования Фоторезист через наложенный на него стеклянный шаблон нужного рисунка ультрафиолетовым излучением (иногда электронным лучом) свойства его меняются: либо растворимость Фоторезист резко уменьшается (негативный Фоторезист), либо он разрушается и становится легко удалимым (позитивный Фоторезист). Последующая обработка растворителем образует в Фоторезист «окна» на необлучённых участках негативного Фоторезист или облученных участках позитивного Фоторезист Типичные Фоторезист: негативные – слои поливинилового спирта с солями хромовых кислот или эфирами коричной кислоты, слои циклизованного каучука с добавками, вызывающими «сшивание» макромолекул под действием света; позитивные – фенолоили крезолоформальдегидная смола с о-нафтохинондиазидом. См. также Фотолитография.

 

  Лит.: Фотолитография и оптика, М. – Берлин, 1974; Мазель Е. З., Пресс Фоторезист П., Планарная технология кремниевых приборов, М., 1974.

 

Так же Вы можете узнать о...


Кутон Жорж Огюст Кутон (Couthon) Жорж Огюст (22.12.1755, Орсе, — 28.
Меркуран, комплексный протравитель семян, содержащий этилмеркурхлорид, гамма-изомер гексахлорана, гексахлорбензол, масло и наполнитель; используется главным образом для сухого обеззараживания семян пшеницы, ржи; льна, масличных, овощных, цветочных культур и лесных пород.
Общественный центр, комплекс зданий и сооружений или соответствующая функциональная зона жилого или промышленного городского района, города либо другого населённого пункта, системы группового расселения, области.
Полупустынные зоны субтропических поясов, природные зоны суши в субтропических поясах Северного и Южного полушарий с преобладанием полупустынных ландшафтов.
Саксонская династия, династия германских королей (в 919—1024) и императоров «Священной Римской империи» (с 962).
Стратиграфическая колонка, чертёж, изображающий специальными условными знаками в определённом масштабе последовательность напластований горных пород в нормальном стратиграфическом разрезе и характер контактов между смежными стратиграфическими подразделениями.
«Учреждение об императорской фамилии» в России (5 апреля 1797 и 2 июля 1886), законодательные акты о правах и обязанностях лиц императорской фамилии.
Шан Ян (390—338 до нашей эры), государственный деятель, реформатор в Древнем Китае, один из основоположников легистской школы (см.
Алтухово, посёлок городского типа в Навлинском районе Брянской области РСФСР.
Болото, избыточно увлажнённый участок земли, на котором происходит накопление неразложившегося органического вещества, превращающегося в дальнейшем в торф.
Ганнон (Hanno). В Карфагене: 1) Г. Мореплаватель, флотоводец 7—6 вв.
Дистинкция (от лат. distinctio — различение), термин, обозначающий познавательный акт, в процессе которого фиксируется различие между предметами и явлениями действительности или между элементами сознания.
Казанский Евгений Сергеевич [21.1(2.2).1896 — 26.