Микроинтерферометр, прибор, применяемый для измерений неровностей на наружных поверхностях с направленными следами механической обработки, а также для определения толщины плёнок, величины малых перемещении и т. и. Впервые Микроинтерферометр разработаны В. П. Линником в 1933. В оптической схеме Микроинтерферометр использованы интерферометр и микроскоп, что позволяет одновременно осуществлять наблюдение исследуемой поверхности и интерференционной картины, полученной в результате взаимодействия двух когерентных световых волн: волны сравнения, отражённой от образцового зеркала, и волны, отражённой от исследуемой поверхности и деформированной имеющимися на ней микронеровностями. Интерференционная картина в монохроматическом свете представляет собой чередование тёмных и светлых полос, форма которых в увеличенном масштабе воспроизводит профиль контролируемого участка поверхности (рис.). Высота h неровности поверхности определяется через искривление а и ширину b интерференционной полосы: h = а/b×^l/₂, где l — средняя длина волны используемого участка спектра. С помощью Микроинтерферометр можно измерять высоты от 0,03 до 1 мкм. Изготовляют Микроинтерферометр, работающие в белом и монохроматическом свете. Микроинтерферометр снабжают окулярным микрометром для измерений или окуляром и фотокамерой для регистрации интерференционной картины. Некоторые Микроинтерферометр имеют устройства для измерений неровностей до 10 мкм по отпечаткам, снятым с исследуемых поверхностей.

 

  Лит.: Егоров В. А., Оптические и щуповые приборы для измерения шероховатости поверхности, 2 изд., Микроинтерферометр, 1965.

Рис. к ст. Микроинтерферометр.

  Л. Н. Логачева.